Газочувствительные структуры "силицид кобальта – пористый кремний – кремний"

  • И. В. Белоусов Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко, Украина
  • Е. В. Бузанева Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко, Украина
  • Г. В. Кузнецов Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко, Украина
Ключові слова: силицидная фаза, пористый кремний, многослойная структура, газовый датчик

Анотація

Изучены явления локального зарождения и последующей латеральной кристаллизации силицидной фазы CoSi2 на поверхности пористого кремния. Предложена технология формирования сетки металлического электрода на основе силицида кобальта для газочувствительных поверхностно-барьерных кремниевых структур. Многослойные пленочные структуры "силицид кобальта – пористый кремний – кремний" обладают сенсорными свойствами и могут использоваться в качестве элементов газовых датчиков.

Опубліковано
2006-02-28
Як цитувати
Белоусов, И. В., Бузанева, Е. В., & Кузнецов, Г. В. (2006). Газочувствительные структуры "силицид кобальта – пористый кремний – кремний". Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (1), 34-36. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.1.34
Номер
№ 1 (2006): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2006 Белоусов И. В., Бузанева Е. В., Кузнецов Г. В.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.