Многофункциональный датчик давления и температуры на основе твердых растворов SiGe

  • A. A. Дружинин Национальный университет «Львовская политехника», Украина
  • И. П. Островский Национальный университет «Львовская политехника», Украина
  • С. Н. Матвиенко Национальный университет «Львовская политехника», Украина
  • А. М. Вуйцик Национальный университет «Львовская политехника», Украина
  • С. Н. Матвиенко Национальный университет «Львовская политехника», Украина
Ключові слова: нитевидный кристалл, многофункциональный сенсор, датчик давления и температуры, обработка сигнала, микроконтроллер, AD8555, Atmega8

Анотація

Разработан многофункциональный сенсор давления и температуры с цифровой обработкой сигнала, которая включает фильтрацию, линеаризацию и температурную коррекцию характеристик преобразователя давления. В качестве чувствительного элемента сенсора использован тензомост, состоящий из тензорезисторов на основе нитевидных кристаллов твердого раствора Si1-хGeх.

Опубліковано
2005-12-30
Як цитувати
ДружининA. A., Островский, И. П., Матвиенко, С. Н., Вуйцик, А. М., & Матвиенко, С. Н. (2005). Многофункциональный датчик давления и температуры на основе твердых растворов SiGe. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (6), 24-26. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.6.24
Номер
№ 6 (2005): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2005 Дружинин А. А., Островский И. П., Матвиенко С. Н., Вуйцик А. М.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.