Акустоэлектронные сенсоры газа со слоистыми структурами

  • Я. И. Лепих Одесский национальный университет им. И. И. Мечникова, Украина
Ключові слова: акустоэлектронный сенсор газа, поверхностные акустические волны, пленки Ленгмюра-Блоджетт

Анотація

Приведены результаты разработки и исследований акустоэлектронных сенсоров газа с пленочными структурами. На примере сенсора с элементом на поверхностных акустических волнах и адсорбционной пленкой CH3(CH2)17COONa, нанесенной на рабочую поверхность звукопровода методом Ленгмюра-Блоджетт, показана возможность создания интеллектуализированных сенсоров, работающих в реальном масштабе времени. Особенностью и важным преимуществом данных сенсоров перед аналогами является отсутствие необходимости подогрева на стадии адсорбции-десорбции.

Опубліковано
2005-06-30
Як цитувати
Лепих, Я. И. (2005). Акустоэлектронные сенсоры газа со слоистыми структурами. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (3), 34-35. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.3.34