Применение феррогранатовых эпитаксиальных структур в сверхвысокочастотной электронике

  • С. И. Ющук Национальный университет «Львовская политехника», Украина
  • С. А. Юрьев Национальный университет «Львовская политехника», Украина
  • П. С. Костюк Национальный университет «Львовская политехника», Украина
  • В. И. Бондар Национальный университет «Львовская политехника», Украина
Ключові слова: феррогранатовые эпитаксиальные структуры, резонаторы, СВЧ, магнитостатические волны, методы травления

Анотація

Методом жидкофазной эпитаксии выращены монокристаллические пленки железо-иттриевого граната (ЖИГ) толщиной от единиц до 92 мкм. Для формирования структур устройств на магнитостатических волнах применены три метода травления пленок ЖИГ: ионный, жидкостно-химический и стимулированный излучением лазера. Разработанные волноводные структуры и резонаторы использованы для создания планарных СВЧ-фильтров и линий задержки.

Опубліковано
2005-06-30
Як цитувати
Ющук, С. И., Юрьев, С. А., Костюк, П. С., & Бондар, В. И. (2005). Применение феррогранатовых эпитаксиальных структур в сверхвысокочастотной электронике. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (3), 22-25. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.3.22
Номер
№ 3 (2005): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2005 Ющук С. И., Юрьев С. А., Костюк П. С., Бондар В. И.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.