Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния

  • Г. И. Крапивко Херсонский национальный технический университет, Украина
Ключові слова: лазерное воздействие, кремний, текстурирование поверхности

Анотація

Осуществлен метод лазерной гравировки, основанный на эффективном изменении кристаллической решетки при формировании текстурированной поверхности кристалла кремния. Показано, что для прожигания кремния на переходе фаз необходим лазер с импульсной мощностью намного меньшей, чем в твердой фазе.

Опубліковано
2005-04-29
Як цитувати
Крапивко, Г. И. (2005). Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (2), 53-55. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.2.53
Номер
№ 2 (2005): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2005 Крапивко Г. И.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.