Получение и свойства пористого карбида кремния

  • Л. А. Светличная Таганрогский государственный радиотехнический университет, Россия
  • Н. Н. Московченко Таганрогский государственный радиотехнический университет, Россия
  • П. В. Серба Таганрогский государственный радиотехнический университет, Россия
Ключові слова: пористый карбид кремния, электрохимическое травление, морфология пористого слоя, размер пор, эпитаксиальный слой SiC

Анотація

Рассмотрены методы получения пористого карбида кремния, его свойства, влияние состава электролита, времени травления и плотности тока на морфологию пористого слоя, а также зависимость структуры пор от легирования подложки. Результаты сопоставлены с данными по пористому кремнию.

Опубліковано
2005-02-28
Як цитувати
Светличная, Л. А., Московченко, Н. Н., & Серба, П. В. (2005). Получение и свойства пористого карбида кремния. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (1), 53-57. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2005.1.53
Номер
№ 1 (2005): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2005 Светличная Л. А., Московченко Н. Н., Серба П. В.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.