Метод проектирования топологии тонкопленочной микросборки с размерами пленочных элементов 10–50 мкм

  • В. Г. Спирин НПП "Темп-Авиа", Арзамасс, Россия
Ключові слова: проектирование, топология, тонкопленочная микросборка, размеры резисторов

Анотація

Рассматриваемый метод позволяет проектировать тонкопленочные элементы с минимальными размерами 10-50 мкм. Повышение интеграции микросборки достигается за счет компенсации систематических погрешностей конструктивных параметров тонкопленочных элементов, изменением алгоритма расчета размеров резисторов, особенностями размещения компонентов и резисторов.

Опубліковано
2004-10-30
Як цитувати
Спирин, В. Г. (2004). Метод проектирования топологии тонкопленочной микросборки с размерами пленочных элементов 10–50 мкм. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (5), 6-10. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2004.5.06