Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона

  • В. Г. Спирин НПП «Темп-Авиа», Арзамасс, Россия
Ключові слова: компенсация систематических погрешностей, тонкопленочные элементы, выход годных микросборок

Анотація

Рассмотрено несколько способов компенсации систематических погрешностей конструктивных параметров тонкопленочных резисторов, определяющих выход годных микросборок. Предложена компенсация путем изменения размеров элементов фотошаблона по определенным алгоритмам, которая позволит значительно уменьшить размеры всех тонкопленочных элементов без уменьшения процента выхода годных микросборок.

Опубліковано
2004-08-30
Як цитувати
Спирин, В. Г. (2004). Компенсация систематических погрешностей тонкопленочных элементов через элементы фотошаблона. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (4), 9-11. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2004.4.09
Номер
№ 4 (2004): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2004 Спирин В. Г.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.