Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением

  • А. Е. Иванчиков НПО «Интеграл», Минск, Беларусь
  • A. M. Кисель НПО «Интеграл», Минск, Беларусь
  • А. Б. Медведева НПО «Интеграл», Минск, Беларусь
  • В. И. Плебанович НПО «Интеграл», Минск, Беларусь
  • В. Н. Пономарь НПО «Интеграл», Минск, Беларусь
  • В. Е. Шикуло НПО «Интеграл», Минск, Беларусь
Ключові слова: плазмохимическое травление, удаление полимерных загрязнений, полимерные остатки, растворы PRX, термический метод удаления, операция «оплавление контактов», разброс толщины диоксида кремния

Анотація

Рассмотрено формирование малоразмерных контактных окон методом плазмохимического травления и основные факторы образования полимерных остатков после травления. Изучен состав полимерных остатков и механизм их удаления химическими методами с использованием растворов PRX. Проведена косвенная оценка (по разбросу толщины диоксида кремния) термического метода удаления полимерных остатков, реализованного на операции "оплавление контактов".

Опубліковано
2003-10-31
Як цитувати
Иванчиков, А. Е., КисельA. M., Медведева, А. Б., Плебанович, В. И., Пономарь, В. Н., & Шикуло, В. Е. (2003). Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (5), 46-50. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.5.46
Номер
№ 5 (2003): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2003 Иванчиков А. Э. , Кисель А. М., Медведева А. Б., Плебанович В. И., Пономарь В. Н., Шикуло В. Е.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.