Учет механических напряжений в комбинированных диэлектриках для конденсаторов СБИС

  • В. А. Пилипенко НПО «Интеграл», Минск, Беларусь
  • В. Н. Пономарь НПО «Интеграл», Минск, Беларусь
  • Т. В. Петлицкая НПО «Интеграл», Минск, Беларусь
Ключові слова: комбинированный диэлектрик, конденсаторы СБИС, пентаоксид тантала

Анотація

Предложен вариант комбинированного конденсаторного диэлектрика на основе пентаоксида тантала для конденсаторов СБИС. Для поиска оптимального сочетания слоев, при котором система Si — SiO2 — Ta2O5 не испытывает упругой механической деформации, была построена модель упругих напряжений. Расчет показал, что при соотношении толщины пленок Ta2O5 и SiO2 как 1:10 радиус кривизны пластины со сформированными диэлектриками стремится к бесконечности, а сама кривизна — к нулю. Рассчитаны упругие постоянные для пленки Ta2O5.

Опубліковано
2003-02-28
Як цитувати
Пилипенко, В. А., Пономарь, В. Н., & Петлицкая, Т. В. (2003). Учет механических напряжений в комбинированных диэлектриках для конденсаторов СБИС. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (1), 19-20. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2003.1.19
Номер
№ 1 (2003): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2003 В. А. Пилипенко, В. Н. Пономарь, Т. В. Петлицкая

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.