Негатронные элементы на основе локальных пленок поликристаллического кремния

  • Ф. Д. Касимов Национальное аэрокосмическое агентство, Баку, Азербайджан
  • М. Р. Рагимов Национальное аэрокосмическое агентство, Баку, Азербайджан
Ключові слова: негатронные элементы, пленки поликристаллического кремния, реактивные свойства, напряжение переключения, индуктивная проводимость

Анотація

Описаны результаты исследований реактивных свойств элементов на основе локально выра-щенных пленок поликристаллического кремния и их поведение под воздействием освещения. Показано, что вблизи порогового напряжения переключения характер реактивной проводимости пленок меняется с емкостного на индуктивный. При переключении пленок в низкоомное состояние в исследованном частотном диапазоне (0,465 — 10 МГц) реактивная состав-ляющая проводимости имела индуктивный характер.

Опубліковано
2002-02-28
Як цитувати
Касимов, Ф. Д., & Рагимов, М. Р. (2002). Негатронные элементы на основе локальных пленок поликристаллического кремния. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (1), 53-56. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2002.1.53