СВІС для мікроелектронного координатно-чутливого детектора нового покоління з розширеним полем аналізу для мас-спектрометрії

  • В. П. Сидоренко Науково-дослідний інститут мікроприладів НАН України, Київ, Україна
  • О. И. Радкевич Науково-дослідний інститут мікроприладів НАН України, Київ, Україна
  • Ю. В. Прокоф'ев Науково-дослідний інститут мікроприладів НАН України, Київ, Україна
  • Ю. В. Таякин Науково-дослідний інститут мікроприладів НАН України, Київ, Україна
  • T. M. Вирозуб Науково-дослідний інститут мікроприладів НАН України, Київ, Україна
Ключові слова: СВІС, мікроелектронний координатно-чутливий детектор, мас-спектрометрія, КМОН-технологія, швидкодія мікросхеми

Анотація

Розроблено спеціалізовану СВІС для мікроелектронних координатно-чутливих детекторів нового покоління - багатокристальних детекторів з розширеним полем аналізу, що можуть використовуватися в мас-спектрометрах і забезпечувати одночасне визначення елементів, які входять до складу речовини, з високою чутливістю і точністю. СВІС спроєктовано на основі сучасної КМОН-технології з проєктними нормами 1,0 мкм, що дозволило отримати частоту підрахунку імпульсів понад 15 МГц, швидкодію в режимі зчитування 10 МГц, розрядність лічильників 16.

Посилання

Sidorenko V. P., Prokofiev Yu. V., Murchenko D. S., Yeremenko V. M. Shelehov A. V. [Coordinate-sensitive charged particle detector for spectroscopy]. Tekhnologiya i Konstruirovanie v Elektronnoi Apparature, 2016, no. 4-5, pp.53-60. http://dx.doi.org/10.15222/TKEA2016.4-5.53 (Rus)

Langstaff D. P., Chase T., Roberts O. R., McGlynn A., Veary-Roberts A. R., Evans D. A., Greaves G.N. A 768-channel detector for photoelectron spectroscopy using synchrotron radiation.— SRMS-5 Conference, Chicago July 30-Aug,2, 2006.

Sidorenko V. P., Verbitskiy V. G., Prokofiev Yu. V., Kyziak A. Yu., Nikolayenko Yu. E. [VLSI for microelectronic coordinate-sensitive detector of the devices for element analysis of substance]. Tekhnologiya i Konstruirovanie v elektronnoi Apparature, 2009, no. 2, pp. 26-29. (Rus)

Sidorenko V. P., Verbitskiy V. G., Prokofiev Yu. V. [Circuit design of VLSI for microelectronic coordinatesensitive detector for material element analysis]. Tekhnologiya I Konstruirovanie v Elektronnoi Apparature, 2012, no. 4, pp.39-46. (Rus)

Boriskin A. I., Eremenko V. M., Mordik S. N., Savin O. R., Skripchenko A. N., Storizhko V. E., Khomenko S. N. Ion-optical characteristics of a laser mass spectrometer with a coordinate-sensitive microelectronic detector. Technical Physics, 2008, vol. 53, iss. 7, pp. 927-933. (Rus)

Langstaff D.P., Evans D.A., Roberts O.R., Zhu Xi. Progress on the aberystwyth electron counting array. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment, 2009, vol. 604, no. 1-2, pp. 133-135. http://dx.doi.org/10.1016/j.nima.2009.01.040

Eremenko V. M., Murchenko D. S., Prokofiev Yu. V. et al. [Microelectronic Coordinate Sensitive Detector for Spectrometry]. Ukraine patent application, no. a 2016 12093, 2016. (Ukr)

Опубліковано
2018-02-27
Як цитувати
Сидоренко, В. П., Радкевич, О. И., Прокоф’ев, Ю. В., Таякин, Ю. В., & ВирозубT. M. (2018). СВІС для мікроелектронного координатно-чутливого детектора нового покоління з розширеним полем аналізу для мас-спектрометрії. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (1), 13-20. https://doi.org/10.15222/TKEA2018.1.13