Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур

  • А. Ф. Белянин ЦНИТИ «Техномаш», Москва, Россия
  • B. B. Борисов НИИ ядерной физики им. Д. В. Скобельцына, Москва, Россия
  • M. A. Тимофеев НИИ ядерной физики им. Д. В. Скобельцына, Москва, Россия
  • A. H. Ламский ЦНИТИ «Техномаш», Москва, Россия
Ключові слова: слоистые структуры, эмиссионная электроника, пленки алмазоподобных материалов

Анотація

Рассмотрены условия формирования и строение пленок алмазоподобных материалов, используемых при изготовлении слоистых ненакаливаемых катодов устройств эмиссионной электроники. Изучены строение и автоэмиссионные свойства слоистых структур с поликластерными пленками алмаза и с алмазоподобными углеродными пленками (АУП), сформированными различными методами. Установлено, что лучшими эмиссионными характеристиками обладают АУП, полученные катодным распылением, эмиссия с поверхности которых происходит по границам глобул.

Опубліковано
2013-06-14
Як цитувати
Белянин, А. Ф., БорисовB. B., ТимофеевM. A., & ЛамскийA. H. (2013). Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (4), 31-36. вилучено із http://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2013.4.31
Номер
№ 4 (2013): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2013 Белянин А. Ф., Борисов В. В., Тимофеев М. А., Ламский А. Н.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.