Физико-технологические аспекты создания низковольтных ограничителей напряжения на основе кремния

  • А. З. Рахматов ОАО «FOTON», Ташкент, Узбекистан
  • С. Л. Скорняков ОАО «FOTON», Ташкент, Узбекистан
  • A. B. Каримов Физико-технический институт НПО «Физика-Солнце» АН РУз, Ташкент, Узбекистан
  • Д. М. Ёдгорова Физико-технический институт НПО «Физика-Солнце» АН РУз, Ташкент, Узбекистан
  • O. A. Абдулхаев Физико-технический институт НПО «Физика-Солнце» АН РУз, Ташкент, Узбекистан
  • У. М. Бузруков Физико-технический институт НПО «Физика-Солнце» АН РУз, Ташкент, Узбекистан
Ключові слова: диффузия, мышьяк, ампула, ограничитель напряжения, твердая фаза

Анотація

Показано, что при диффузионном легировании мышьяком Si-пластин в вакуумированной квар­це­вой ампуле наиболее эффективно использовать составной источник в виде кристаллического мы­шья­ка и порошка кремния марки КДБ с концентрацией базовой примеси (бора) не менее чем в ле­ги­ру­е­мых Si-пластинах. Полученные результаты представляют интерес при разработке и про­из­вод­стве низковольтных (менее 7 В) ограничителей напряжения на основе кремния.

Опубліковано
2010-12-26
Як цитувати
Рахматов, А. З., Скорняков, С. Л., КаримовA. B., Ёдгорова, Д. М., АбдулхаевO. A., & Бузруков, У. М. (2010). Физико-технологические аспекты создания низковольтных ограничителей напряжения на основе кремния. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (5–6), 30-35. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2010.5-6.30
Номер
№ 5–6 (2010): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2010 Рахматов А. З., Скорняков С. Л., Каримов А. В., Ёдгорова Д. М., Абдулхаев О. А., Бузруков У. М.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.