Влияние термического окисления на ани­зо­тро­пию элек­тро­про­вод­нос­ти и фо­то­про­во­ди­мос­ти на­но­струк­ту­ри­ро­ван­но­го крем­ния

Анотація

Исследовано влияние термического окисления на про­во­ди­мость сло­ев по­ри­сто­го крем­ния, по­лу­чен­но­го трав­ле­ни­ем плас­тин мо­но­крис­тал­ли­чес­ко­го крем­ния с ори­ен­та­ци­ей по­верх­нос­ти (110). Об­на­ру­же­но, что тер­ми­чес­кое окис­ле­ние ока­зы­ва­ет раз­лич­ное вли­яние на про­во­ди­мость сло­ев по­рис­то­го крем­ния, из­ме­ря­е­мую вдоль раз­лич­ных крис­тал­ло­гра­фи­чес­ких на­прав­ле­ний. По­лу­чен­ные ре­зуль­та­ты объяс­не­ны на ос­но­ве мо­де­ли пе­ре­но­са но­си­те­лей за­ря­да, учи­ты­ваю­щей на­ли­чие по­тен­ци­аль­ных ба­рье­ров на гра­ни­цах свя­зан­ных крем­ни­е­вых на­но­крис­тал­лов.