Разработка схемы и топологии элементов матрицы управляемых автоэмиссионных кремниевых микрокатодов

Анотація

По­ка­за­ны при­ме­ры при­бор­ных эле­мен­тов для ми­кро­сис­тем­ных при­ло­же­ний, сфор­ми­ро­ван­ных на ло­каль­ной трех­мер­ной КНИ-струк­ту­ре. Ус­та­нов­ле­на об­ласть при­ме­не­ния ком­пакт­ной EKV-мо­де­ли МОП-тран­зи­сто­ра для рас­сче­та ха­рак­те­ри­стик КНИ МОП-тран­зис­то­ров. Срав­ни­ва­ют­ся рас­чет­ные и эк­спе­ри­мен­таль­ные вы­ход­ные ха­рак­те­ри­сти­ки КНИ МОП-тран­зи­сто­ра, в ко­то­ром под­ка­на­ль­ная об­ласть со­е­ди­не­на с ис­то­ком. Раз­ра­бо­та­на схе­ма уп­рав­ле­ния крем­ни­е­вым ми­кро­ка­то­дом, обес­пе­чи­ва­ю­щая ли­ней­ное из­ме­не­ние ав­то­эмис­си­он­ных то­ков при фик­си­ро­ван­ном на­пря­же­нии на элек­тро­дах. Раз­ра­бо­та­на то­по­ло­гия ми­кро­ка­то­да, ин­те­гри­ро­ван­но­го со схе­мой уп­рав­ле­ния, ко­то­рую мож­но му­ль­ти­пли­ци­ро­вать в мат­ри­цы боль­ших раз­ме­ров.