Оптимизация конструкции мембранных датчиков

  • И. И. Рубцевич Филиал «Транзистор» ОАО «Интеграл», Минск, Беларусь
  • В. Б. Высоцкий Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск, Республика Беларусь
  • Н. С. Ковальчук Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск, Республика Беларусь
Ключові слова: газовый анализатор, многослойная мембрана, нитрид кремния, пористый алюминий, эффективная площадь контактирования, оптимизированная конструкция

Анотація

Рас­смот­ре­на воз­мож­ность умень­ше­ния мощ­но­сти, по­треб­ля­е­мой дат­чи­ком кон­цен­тра­ции га­за за счет вве­де­ния ще­лей в струк­ту­ру мно­го­слой­ной мем­бра­ны. Для уве­ли­че­ния эф­фек­тив­ной пло­ща­ди кон­так­ти­ро­ва­ния пла­ти­ны с под­сло­ем по­ри­сто­го алю­ми­ния пред­ло­же­но про­во­дить рас­трав­ли­ва­ние вер­шин пор в кон­цен­три­ро­ван­ной ор­то­фос­фор­ной кис­ло­те.

Опубліковано
2009-10-30
Як цитувати
Рубцевич, И. И., Высоцкий, В. Б., & Ковальчук, Н. С. (2009). Оптимизация конструкции мембранных датчиков. Технологія та конструювання в електронній апаратурі, (5), 16-19. вилучено із https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.5.16
Номер
№ 5 (2009): Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Розділ
Articles

Авторське право (c) 2009 Рубцевич И. И., Высоцкий В. Б., Ковальчук Н. С.

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.