Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур

Анотація

В ра­бо­те про­ве­ден кон­струк­тор­ско-тех­но­ло­ги­че­ский ана­лиз схе­мы из­ме­ре­ния эл­лип­со­мет­ри­че­ских па­ра­мет­ров, рас­че­та по­ка­за­те­ля пре­лом­ле­ния и тол­щи­ны плен­ки, раз­ра­бо­та­на блок-схе­ма и соз­дан ма­кет при­бо­ра для кон­тро­ля сте­пе­ни од­но­род­но­сти пле­ноч­ных струк­тур в про­цес­се их из­го­то­вле­ния. Раз­ра­бо­тан па­кет ав­то­ма­ти­зи­ро­ван­ных прог­рамм вы­чи­сле­ния по­ка­за­те­ля пре­лом­ле­ния и тол­щи­ны пле­нок по из­ме­рен­ным эл­лип­со­мет­ри­че­ским па­ра­мет­рам, ко­то­рые ос­но­ва­ны на ите­ра­ци­он­ном ме­то­де ре­ше­ния урав­не­ния эл­лип­со­мет­рии. Про­ве­де­на ап­ро­ба­ция при­бо­ра на при­ме­ре оп­ре­де­ле­ния по­ка­за­те­ля пре­лом­ле­ния и тол­щи­ны пле­нок CdTe и пле­нок HfO₂, ко­то­рая по­ка­за­ла воз­мож­ность кон­тро­ля од­но­род­но­сти пле­нок как по пло­ща­ди, так и по тол­щи­не.