Моделирование электрических характеристик и расчет конструктивных параметров кремниевого стабилитрона с напряжением стабилизации 6,5 В

Анотація

При­ве­де­ны ре­зуль­та­ты оп­ти­ми­за­ци­он­но­го мо­де­ли­ро­ва­ния ори­ги­наль­но­го тех­про­цес­са из­го­то­вле­ния и элек­три­че­ских ха­рак­те­рис­тик ста­би­ли­тро­нов с на­пря­же­ни­ем ста­би­ли­за­ции U_ст=6,5±0,5 В. Мар­шрут из­го­то­вле­ния ста­би­ли­тро­на вклю­ча­ет в се­бя фор­ми­ро­ва­ние об­лас­тей ох­ран­ных ко­лец n⁺-ти­па в под­лож­ке р-ти­па; фор­ми­ро­ва­ние р–n-пе­ре­хо­да в под­лож­ке р-ти­па; фор­ми­ро­ва­ние меж­слой­но­го оки­сла; на­пы­ле­ние ме­тал­ла. В ре­зуль­та­те рас­че­тов элек­три­че­ских ха­рак­те­рис­тик бы­ли по­лу­че­ны зна­че­ния на­пря­же­ния ста­би­ли­за­ции и диф­фе­рен­ци­аль­но­го со­про­тив­ле­ния об­рат­ной вет­ви ВАХ ста­би­ли­тро­на при нор­маль­ной, по­ни­жен­ной и по­вы­шен­ной тем­пе­ра­ту­ре.