[1]
Макара, В.А., Одарич, В.А., Кепич, Т.Ю., Преображенская, Т.Д. і Руденко, О.В. 2009. Прибор и методы измерения параметров и степени однородности пленочных структур. Технологія та конструювання в електронній апаратурі. 3 (Чер 2009), 40-46.