[1]
ФедоровичO.A., Кругленко, М.П. і Полозов, Б.П. 2009. Особенности плазмохимического травления торцов крем­ние­вых плас­тин для фо­то­элек­три­чес­ких пре­об­ра­зо­ва­те­лей. Технологія та конструювання в електронній апаратурі. 6 (Груд 2009), 46-49.