Наливайко, О.Ю. і Турцевич, А.С. 2012. Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в про­цес­се роста. Технологія та конструювання в електронній апаратурі. 2 (Лют 2012), 37-41.