|
http://dx.doi.org/10.15222/TKEA2018.2.09 УДК 621.383.72 Чутливість матриць ПЗЗ із електронним множенням Сизов Ф. Ф., Голєнков О. Г., Рева В. П., Забудський В. В., Корінець С. В., Торчинський А. М. Ключові слова: ПЗP-фотоматриці, електронне множення, чутливість, дальність виявлення, ідентифікація об'єктів, пряме засвічення, низькі освітленості. Досліджено чутливість і основні електричні характеристики розроблених матриць приладів із зарядовим зв'язком і електронним множенням з прямим засвіченням при кімнатній температурі і низькій освітленості. Фотоматриці формату 576×288 і 640×512 були спроектовані з використанням архітектури покадрового перенесення (frame transfer) по 1,5-мкм проектним нормам з розмірами фоточутливих елементів 20×30 і 16×16 мкм відповідно і виготовлені по n-канальній технології з «прихованим» каналом, чотирма рівнями полікремнієвих електродів і двома рівнями металізації. Для аналізу можливостей застосування розроблених матриць ПЗЗ-ЕМ в системах спостереження в умовах малої освітленості проводилася експериментальна оцінка чутливості матриць. Вона ґрунтувалась на порівнянні показань люксметрів та критерії Джонсона з використанням стандартної тестової таблиці 1951 USAF resolution target test chart для мінімального розміру пар ліній, що розрізняються спостерігачем (одна пара складається з темної і світлої лінії). Характеристики, отримані при освітленості 5·10–4 люкс (світіння зоряного неба при легкій хмарності) і 10–2 люкс (світіння зоряного неба і чверті Місяця), відповідають параметрам електронно-оптичних перетворювачів покоління 2+, що передбачає можливість використання таких матриць в приладах нічного бачення. При Еv≈5·10–4 люкс камера, реалізована з застосуванням розроблених матриць ПЗЗ-ЕМ, дозволить виявити людську фігуру на відстані близько 200 м. При освітленості 10-2 люкс на цій відстані людська фігура може бути ідентифікована. Україна, м. Київ, Інститут фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова НАН України. Опис статті для цитування: Сизов Ф. Ф., Голенков А. Г., Рева В. П., Забудский В. В., Коринец С. В., Торчинский А. М. Чувствительность матриц ПЗС с электронным умножением. Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2018, № 2, с. 9—14. http://dx.doi.org/10.15222/TKEA2018.2.09 |