УДК 621.317.33

Устройство для бесконтактного измерения электропроводности полупроводников

Ащеулов А. А., Бучковский И. А., Романюк И. С.

Ключевые слова: электропроводность полупроводников, индуктивный датчик, добротность контура, поглощение энергии электромагнитного поля.

Рассмотрены пути модификации известных методов и устройств для измерения электропроводности полупроводниковых материалов. Приведена структурная схема устройства, в котором реализован дифференциальный метод измерений и одноканальная обработка измерительного сигнала. Описано функционирование отдельных блоков и устройства в целом.

Украина, г. Черновцы, Институт термоэлектричества, ЧНУ им. Юрия Федьковича, ОАО «Кварц».

***

Device for contactless measurement of electroconductivity of semiconductors

Ascheulov A. A., Buchkovskii I. A., Romanyuk I. S.

Keywords: electroconductivity of semiconductors, inductive sensor, quality of the contour, absorption of energy of electromagnetic field.

The ways of modifications of the conventional techniques and devices for measurement of electroconductivity of semiconductor materials are considered. The structural scheme of the device implementing differential measurements and one-channel processing of the measured signal is represented. Functioning both separate blocks and the device as a whole is described.