УДК 621.316.826

Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений.

Гусейнов Я. Ю.

Разработаны магнито- и газочувствительные интегральные преобра­зователи с частотным выходом на базе пленок поликристаллического кремния, выращенных в едином технологическом цикле эпитаксиаль­ного наращивания монокристаллических пленок n-типа проводимости.

Азербайджан, Сумгаитский гос. университет.