УДК 621.382

Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме

А. Н. Головяшкин, Д. В. Лежнев

Рассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены технологические режимы получения тонких пленок, результаты исследования химического состава сплава в напыляемых пленках и их адгезионных свойств. Дан анализ полученных результатов, а также основные достоинства и недостатки метода электрического взрыва.

Россия, Пензенский гос. университет.