УДК 621.315.592

Влияние радиационно-индуцированных эффектов на радиационную стойкость кремниевых
МОП-структур.

Э. М. Гаджиев, Я. Ю. Гусейнов, Н. М. Исмайлов, Ф. Д. Касимов

Исследовано влияние γ-излучения на параметры границы раздела Si-SiO₂ МОП-структур в зависимости от технологических режимов их получения.

Азербайджан, г. Баку, Азербайдж. нац. аэрокосм. агентство; г. Сумгаит, Гос. ун-т.