УДК 621.315.592

Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния.

Ф. Г. Агаев

Проведено исследование электрических характеристик пленок поликристаллического кремния крестообразной конфигурации под влиянием углекислого газа. Показано, что приложение напряжения смещения к одному из плеч элемента приводит к модуляции выходного сигнала с другого плеча, т. е. имеет место управляемый полем адсорбционный эффект.

Азербайджан, г. Баку, ОКБ космич. приборостр.