[1]
ГладковскийB.B., Костин, Е.Г., Полозов, Б.П., ФедоровичO.A. і ПетряковB.A. 2014. Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок. Технологія та конструювання в електронній апаратурі. 5–6 (Груд 2014), 39-45. DOI:https://doi.org/10.15222/TKEA2014.5-6.39.