The influence of if discharge parameters and heater settings on the substrate temperature in the plasma-chemical reactor «almaz» for the synthesis of diamond-like carbon films

B. B. Гладковский; Е. Г. Костин; Б. П. Полозов; O. A. Федорович; B. A. Петряков

doi:10.15222/TKEA2014.5-6.39

B. B. Гладковский Институт ядерных исследований НАН Украины, Киев, Украина
Е. Г. Костин Институт ядерных исследований НАН Украины, Киев, Украина
Б. П. Полозов Институт ядерных исследований НАН Украины, Киев, Украина
O. A. Федорович Институт ядерных исследований НАН Украины, Киев, Украина
B. A. Петряков Институт ядерных исследований НАН Украины, Киев, Украина

DOI: https://doi.org/10.15222/TKEA2014.5-6.39

Ключові слова: углеродные алмазоподобные пленки, плазмохимический реактор, подложка, температура нагрева

Анотація

Представлены результаты исследований влияния на температуру подложки параметров высокочастотного разряда в плазмохимическом реакторе «Алмаз», разработанном и изготовленном в Институте ядерных исследований. Определено время выхода на равновесную температуру подложки при различных параметрах ВЧ-разряда и параметрах основного нагревателя. Установлено, что в условиях данного исследования при температурах подложки выше 600°С влияние ВЧ-разряда на повышение ее температуры практически отсутствует.

Посилання

Cline B.L., Olson J.M. CVD diamond solutions for machining and other mechanical applications. Diamond Films Handbook, ed. by J. Asmussen, D. Reinhard, New York, Marcel Dekker, 2002, pp. 403-490.

Spravochnik: Fizicheskie svoistva almaza [Handbook: The physical properties of diamond]. Ed. by. N.V. Novikov, Kiev, Naukova dumka, 1987, 187 p. (Rus)

Kobashi K., Yokota Y. R&D of diamond films in kobe steel. Proc of the Sixth Applied Diamond Conference/Second Frontier Carbon Technology Joint Conference (ADC/FCT 2001), 2001, pp. 24-30.

Han S.K., McClure M.T., Wolden C.A., Vlahovic B., Soldi A., Sitar S. Fabrication and testing of a microstrip particle detector based on highly oriented diamond films. Diamond&Related Materials, 2000, vol. 9, pp. 1008-1012.

Dovgan’ A.N., Kolesnik V.P. Aviatsionno-kosmicheskaya tekhnika i tekhnologiya, 2008, iss. 8, pp. 21-25. (Rus)

Kostin Ye.G., Polozov B.P., Fedorovich O.A., Matyash I.Ye., Serdega B.K., Savinkov G.K., Burdin V.V. Zbirnyk anotatsii “Ukrains’ka konferentsiya z fizyky plazmy i KTS-2011”, Ukraine, Kyiv, 2011, p. 37. (in Ukranian)

Kaldanov V.A. Issledovanie istochnikov neravnovesnoi plazmy na osnove SVCh razryadov, prednaznachennykh dlya osazhdeniya almaznykh plenok. Dis. … kand. fiz.-mat. nauk. [Investigation of non-equilibrium plasma sources based on microwave discharges intended for deposition of diamond films. Doct. diss.]. Nizhnii Novgorod, 2006. (Rus)

Kuskova N.I., Baklar’ V.Yu. Mater. of XIV intern. konfer. “Fizika impul’snykh razryadov v kondensirovanykh sredakh”. Ukraine. Nikolaev, 2009, p. 73. (Rus)

Pashnev V.K., Strel’nitskii V.E., Opalev. O.A., Gritsyna V.I., Vyrovets I.I., Bizyukov Yu.A., Bryk V.V., Kolupaeva Z.I. Physical Surface Engineering, 2003, vol. 1, no 1, pp. 49-55. (Rus)

Yacaman M. J., Yoshida, M. M., Rendon, R., Santiesteban J. G. Catalytic growth of carbon microtubules with fullerene structure. Applied Physics Letters, 1993, vol. 62, pp. 202-204.

Sypchenko I.A. Voprosy proektirovaniya i proizvodstva konstryktsii letatel’nykh aparatov. Kharkov, KhAI, 2010, iss. 3, рр. 296-303. (Rus)

Rudchenko S.O., Pukha V.E., Starykov V.V. Visnyk V. N. Karazin Kharkiv National University, N 1019, ser. “Fizika”, 2012, iss. 16, pp. 89-93. (Rus)

Cherepanov V.A., Zolkin A.S., Kolesov K.T., Murzakhmetov K.T., Semenov V.N. [Diamond-like film on the granular silicon produced by combustion of acetylene] Available at: http://psj.nsu.ru/articles/paper5.html (Rus)

Fizicheskii entsiklopedicheskii slovar’. Tom. 1. [Physical encyclopedic dictionary Vol. 1]. Ed. by N. N. Andreeva et al. Moskow, 1960. (Rus)

Jackman R. B., Beckman J., Foord J. S. The growth of nucleation layers for high-quality diamond CVD from an r.f. plasma. Diamond and Related Materials, 1995, vol. 4, iss. 5-6, pp. 735-739.

Reineck I., Sjostrand M. E., Karner J., Pedrazzini M. Diamond coated cutting tools. Int. J. of Refractory metals and Hard materials, 1996, vol. 14, pp. 187-193.

Grotjohn T. A., Asmussen J. Microwave plasmaassisted diamond film deposition. Ch. 7 in book Diamond films handbook. Ed. by J. Asmussen, D. Reinhard. New York, USA, Marcel Dekker, Inc., 2002, pp. 211-300.

Vyrovets I.I., Gritsyna V.I., Dudnik S.F., Opalev. O.A., Reshetnyak E.N., Strel’nitskii V.E. Physical Surface Engineering, 2010, vol. 8, no 1, pp. 4-19. (Rus)

Verevkin A.A., Vyrovets I.I., Gritsyna V.I., Dudnik S.F., Kutny V.E., Opalev O.A., Rybka A.S., Strel'nitskij V.E. Problems of atomic science and technology, 2010, no 1, pp. 104-107 (Rus)

Maksymenko L.S., Mishchuk O.N., Matyash I.E., Serdega B.K., Kostin E.G., Polozov B.P, Fedorovich O.A. Savinkov G.K. [Modulation polarimetry of full internal reflection, broken by diamond-like films]. Tekhnologiya i konstruirovanie v elektronnoi aparature, 2013, no 1, pp. 3-8. (Rus)

Kostin E.G., Polozov B.P, Fedorovich O.A., Matyash I.E., Serdega B.K., Savinkov G.K. Proc. of the 13th International scientific-practical conference “Modern information and electronic technologies”, Ukraine, Odessa, 2012, p. 247. (Rus)

Koshkin N.I., Shirkevich M.G. Spravochnik po elementarnoi fizike [Handbook of elementary physics]. Moskow, Nauka, 1966, 248 p. (Rus)

Khodin A., Lee Joong-Kee, Kim Chang-Sam, Kim Sang-Ok. Amorphous nanocrystalline silicon plasma enhanced CVD grown on porous alumina substrate. Proc. of the 9th IEEE Conference on Nanotechnology, Italy, Genoa, 2009, pp. 540-542.